3．CompoBus／D
CompoBus／Dはオムロン（株）が提案しているフィールドネットワークであり、デバイスネットに準拠しています。デバイスネットは、米国のアレン・ブラッドリー社が提唱し、後に同社が米国の非営利団体のODVA（オープン・デバイスネット・ベンダー・アソシエーション）にその所有権を移管しています。ODVAでは、デバイスネットの仕様をオープン化し、その改良や普及活動を行っています（表2 デバイスネットの仕様概要参照）。この規格は米国で有力であり、同ネットに対応する様々な製品があります。また、日本でも普及が始まっています。
4．応用例
半導体製造装置の監視制御システム
半導体製造装置では、シーケンサを使った自動化が進んでいます。この装置では、メインのシーケンス制御以外に温度や圧力、電力などの監視も必要です。
この場合の監視制御システムは、オペレータステーションとコントローラで構成することができます。オペレータステーションはパソコンやパネル組み込み形表示器で実現し、コントローラはシーケンサと温度変換器や電力用信号変換器を実装したM2BDを組み合わせて実現します（図3参照）。
このシステム構成では、シーケンサでシーケンス制御とアナログ監視機能を統合できます。また、シーケンサへ入力した温度、電力などフィールドデータのバーグラフ表示、トレンド表示、グラフィック画面表示、制御ループの設定操作などの機能がオペレータステーションにMMI（マンマシンインタフェース）パッケージソフトを導入することにより実現できます。
おわりに
ここに紹介したM2BDを、シーケンサやMMIパッケージソフトを導入したパソコンと組み合わせることにより、シーケンス制御とアナログ信号処理機能を備えたコストパフォーマンスの良い監視制御システムが構成できます。このシステムは、FA用に限らず、中小規模のプロセス計装用としても広く応用可能です。ぜひともご検討、ご活用ください。
表1
みにまるシリーズ構成機種
図3
半導体装置の
監視制御システム
