半導体洗浄装置のリモートI/Oと安全対策

半導体製造工場では、様々な場所で信号変換器が使用されていますが、ここでご紹介するのは洗浄装置に使用されたリモートI/Oです。リモートI/O R8シリーズのインターロック機能付接点入出力カードは、平常時ネットワーク（EtherCAT）を介して接点の入出力を行っていますが、何か異常が発生した場合などには、インターロック指令接点を入力すれば全点または指定点をオフにできる機能をもっています。非常時はネットワークを介さず、現場の機器だけでダイレクトに装置を停止させたいというお客様のアイデアで実現したアプリケーションです。

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  超薄形スライス構造
  組合せ自由形
  リモートI/O R8シリーズ
  

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